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SB100A/21A四探針金屬/半導(dǎo)體電阻率測量儀應(yīng)用說明

SB100A/21A是SB100A/21（及SB100A/3）的升級版，其為用戶提供了使用SB100A/3進行四探針測試及實驗的配套軟件，可運行于PC機上，能兼容運行在Winxp和Win7系統(tǒng)中，用于自動獲取實驗臺的實驗數(shù)據(jù)，并根據(jù)條件生成曲線和報表，輔助實驗人員自動完成實驗，直觀的分析數(shù)據(jù)，獲得實驗結(jié)論，保存實驗數(shù)據(jù)。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達10-5—105Ω。

該測量儀由SB118/21型精密電壓電流源，SB120/2四探針樣品測試平臺及1臺電腦（選購），并附有配套的軟件系統(tǒng)等組成。產(chǎn)品的硬件詳情可參見SB100A/21及相應(yīng)產(chǎn)品的介紹 。

該產(chǎn)品的軟件系統(tǒng)為用戶提供參數(shù)設(shè)置、實驗流程、實驗方式、數(shù)據(jù)分析、曲線報表，并在后臺數(shù)據(jù)庫中進行長期保存，實驗人員可以查詢以前的任何一次實驗的結(jié)果、所有的曲線和報表都可提供打印功能。

SB118/21型精密直流電壓電流源 （帶RS232C接口，詳見該產(chǎn)品使用說明書）

直流電壓源：輸出電壓范圍  0~50V  分20mV、200mV、2V、20V、50V五檔，每檔輸出電壓可連續(xù)調(diào)節(jié)，最高分辨力為1μV，基本wu差為0.05%RD±0.02%FS。

數(shù)字電壓表（4?LED）利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進行測試，測量量程為20mV、200mV、2V、20V、50V（200V），最高分辨力為可達1μV，基本wu差：0.05%RD±0.02%FS。

直流電流源：輸出電流范圍  0~200mA  分20μA、200μA、2mA、20mA、200mA五檔，每檔輸出電流可連續(xù)調(diào)節(jié)，最高分辨力為1nA，基本wu差為0.03%。

儀器后面板配有一個為PC/RS232C接口連接至PC機上，可利用PC機上的“超級終端”獲得儀器的測量數(shù)據(jù)。

SB120/2四探針樣品平臺（詳見該產(chǎn)品使用說明書）

為被測薄膜樣品，利用四探針測量方式測量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率，提供了方便。